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バブリングシート

バブリングシート

ふっ素樹脂PTFE製の気泡発生ユニットです。多孔質状のPTFEシートに空気を送ることで、泡を発生させることができます。

用途

・半導体製造工程におけるウエハーの洗浄
・炭酸ガス・塩素ガス等の吸収反応工程
・薬液の撹拌

最高使用温度

+100°C

耐薬品性表のダウンロード

耐薬品性表(PDF)

特長

●耐薬品性に優れています。
●溶出による汚染の心配はありません。
●微細な気泡により薬液の攪拌、洗浄が効果的に行えます。
●受注生産品です。詳しくはお問い合わせください。

製品仕様

最大厚み(mm) 最大幅(mm) 最大長さ(mm)
20 180 380

製品性能

気泡径
(µm)
開孔率
(%)
引張り強さ
(MPa)
伸び
(%)
硬度
(HDD)
表面祖度
(Rmax)
2 34 6.0 40 46 27

※表の数値は測定値であり、規格値ではありません。

製品一覧

洗浄治具


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