加工品・その他

バブリングシート

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  • 洗浄治具
  • ROHS対応

概要

ふっ素樹脂PTFE製の気泡発生ユニットです。多孔質状のPTFEシートに空気を送ることで、泡を発生させることができます。

用途

・半導体製造工程におけるウエハーの洗浄
・炭酸ガス・塩素ガス等の吸収反応工程
・薬液の撹拌

最高使用温度

+100°C

耐薬品性表のダウンロード

製品仕様

最大厚み(mm)最大幅(mm)最大長さ(mm)
20180380

製品性能

気泡径
(µm)
開孔率
(%)
引張り強さ
(MPa)
伸び
(%)
硬度
(HDD)
表面祖度
(Rmax)
2346.0404627

お問い合わせ

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